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石英mems传感器敏感芯片的各种工艺介绍

 发布时间：2022-12-09
mems即微机电系统.是指采用微机电加工技术按照功能要求在微米量级的芯片上集成机械零件.电子组件和传感器执行组件等而形成的一个独立智能系统. ...<全部>
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发布时间：2021-07-29
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关注成长中的新技术:mems(微电子机械系统)

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